中國環境(jing)(jing)報見習記者 丁波 記者 蔡新華 上海被賦予打造(zao)集成電路產(chan)(chan)業高地的重(zhong)大任務，隨(sui)著(zhu)產(chan)(chan)業規模(mo)逐步擴(kuo)大，廢(fei)酸環境(jing)(jing)無害化處置成為突出問題。據了解，上海通過 “點對(dui)點”資源化定向再利用創(chuang)新模(mo)式已破(po)解這(zhe)一(yi)難題。

　　日前，一輛掛(gua)有(you)危險(xian)標識(shi)的罐裝(zhuang)運輸車穩(wen)穩(wen)駛入(ru)廠區(qu)，公(gong)(gong)司(si)專(zhuan)(zhuan)職管(guan)理(li)員引(yin)導車輛，過(guo)磅(bang)、取樣、檢(jian)驗、聯單簽(qian)收(shou)(shou)……一系(xi)列流程后，車被(bei)引(yin)導至專(zhuan)(zhuan)用卸車區(qu)，車上的特殊液(ye)體被(bei)接(jie)收(shou)(shou)到(dao)公(gong)(gong)司(si)的原料儲料罐中，等(deng)待用于后續(xu)的生產(chan)。

　　這(zhe)是(shi)(shi)記者在(zai)位(wei)于金(jin)山第(di)二(er)工業(ye)區內(nei)的上(shang)海澎博鈦白粉有限公(gong)司(si)(以(yi)下簡稱澎博公(gong)司(si))看到的場景。罐裝車(che)內(nei)裝運的是(shi)(shi)液體硫酸，它的特(te)殊性在(zai)于是(shi)(shi)上(shang)游集成電路芯片生產企(qi)業(ye)使用過的廢棄(qi)硫酸。

　　在現場，公司負責人何文龍告訴記者，公司是上海市集成電路芯片(pian)行(xing)業(ye)產(chan)生(sheng)的(de)廢硫酸資源化(hua)利(li)用(yong)定(ding)點單(dan)位，每天(tian)安排專用(yong)車(che)輛(liang)將廢酸運回工(gong)廠(chang)，經(jing)過嚴格的(de)檢驗流程(cheng)后再(zai)投入(ru)到(dao)鈦白粉生(sheng)產(chan)當中(zhong)，今(jin)年1月(yue)-7月(yue)已處置利(li)用(yong)廢酸1.5萬噸(dun)。

　　新(xin)模式解決(jue)行業(ye)發展(zhan)難題

　　據(ju)上(shang)海(hai)市生態環境局相關(guan)負責人(ren)介(jie)紹，上(shang)海(hai)首(shou)創(chuang)的廢硫酸(suan)“點(dian)對(dui)點(dian)”資源化(hua)定向再利用(yong)模式(shi)運(yun)用(yong)逐步成熟，目前已經(jing)全部覆蓋了(le)上(shang)海(hai)具備(bei)回(hui)收廢酸(suan)條件的集成電(dian)(dian)路芯片(pian)制(zhi)造企業(ye)，總體上(shang)穩(wen)定地(di)解(jie)決了(le)上(shang)海(hai)集成電(dian)(dian)路芯片(pian)制(zhi)造企業(ye)廢硫酸(suan)處(chu)置問題。

　　據上(shang)海市集(ji)(ji)成(cheng)電路(lu)行業(ye)(ye)協會相關負(fu)責(ze)人介(jie)紹，集(ji)(ji)成(cheng)電路(lu)產(chan)業(ye)(ye)生產(chan)過程中會使用大(da)量(liang)濃(nong)硫酸(suan)，排放以硫酸(suan)物質為(wei)主，處理廢硫酸(suan)成(cheng)本很高(gao)，同(tong)時會存在一定(ding)的生態環境安全風險(xian)。這個問題(ti)成(cheng)為(wei)阻礙行業(ye)(ye)發展的難題(ti)。

　　直面痛(tong)點(dian)(dian)(dian)。在(zai)上海市經(jing)濟和信息(xi)化(hua)委(wei)、上海市生態環(huan)境局(ju)等相關部門的(de)支持下，上海市固體廢物和化(hua)學品(pin)管(guan)理(li)技術中(zhong)心、上海市集成(cheng)電路行業協(xie)會(hui)積極探索，多(duo)(duo)次召(zhao)開專家研討會(hui)論(lun)證處置方(fang)案，并于(yu)2016年開始由(you)中(zhong)芯國際和澎博公司(si)開展廢硫酸“點(dian)(dian)(dian)對點(dian)(dian)(dian)”資源(yuan)化(hua)定(ding)向(xiang)再利用試(shi)點(dian)(dian)(dian)運行，經(jing)過多(duo)(duo)輪(lun)試(shi)點(dian)(dian)(dian)驗(yan)證，最終形(xing)成(cheng)較為成(cheng)熟的(de)經(jing)驗(yan)。

　　去年，上(shang)海(hai)市集成電(dian)路行(xing)(xing)業(ye)協會會同多部門專門編(bian)寫形成了《鈦(tai)白粉用集成電(dian)路制造(zao)行(xing)(xing)業(ye)廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標準，在上(shang)海(hai)市質量技(ji)術監(jian)督部門網(wang)站和國家標準網(wang)上(shang)進行(xing)(xing)公示，全(quan)力保障廢酸源頭質量的把控。

　　多(duo)維度再利用(yong)效益(yi)明顯

　　廢(fei)(fei)硫酸(suan)(suan)“點對點”資(zi)源化(hua)(hua)(hua)定(ding)向再(zai)利(li)用，這一新模式的(de)(de)環境效益(yi)、經濟效益(yi)和社(she)會效益(yi)都很顯著(zhu)。相關專家(jia)告訴記者，模式的(de)(de)核心是實(shi)現集成電路制造(zao)過(guo)程(cheng)中產生的(de)(de)廢(fei)(fei)硫酸(suan)(suan)替代鈦白(bai)粉生產工藝過(guo)程(cheng)中用到的(de)(de)工業硫酸(suan)(suan)。經過(guo)試點驗證(zheng)，這種模式技術可行性(xing)很強，廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)再(zai)利(li)用單(dan)位在使用廢(fei)(fei)硫酸(suan)(suan)生產鈦白(bai)粉時，不需要調整現有(you)工藝。同時，替用過(guo)程(cheng)不增加額外的(de)(de)環境負擔與風險，不影響(xiang)產品的(de)(de)質量，符合“固體廢(fei)(fei)物(wu)減(jian)量化(hua)(hua)(hua)、資(zi)源化(hua)(hua)(hua)和無(wu)害化(hua)(hua)(hua)”原(yuan)則。

　　談到經濟效益，這位專(zhuan)家(jia)給記者算了一筆賬(zhang)：澎(peng)(peng)博公(gong)司(si)(si)再利用廢(fei)硫酸(suan)(suan)每(mei)噸收(shou)費(fei)500元，按照上海市往年(nian)(nian)廢(fei)硫酸(suan)(suan)處(chu)置費(fei)每(mei)噸2000元計算，今年(nian)(nian)1月至7月，澎(peng)(peng)博公(gong)司(si)(si)累計利用廢(fei)硫酸(suan)(suan)1.5萬噸，集成電(dian)路生產(chan)企業可節約2250萬元。同(tong)時，澎(peng)(peng)博公(gong)司(si)(si)也(ye)節省了購置工業濃硫酸(suan)(suan)的費(fei)用，產(chan)廢(fei)企業和再利用企業達到了“雙贏”。

　　此外，新(xin)模式還符合循環經濟(ji)產業需求，不僅(jin)解決了(le)廢(fei)硫酸處置出路(lu)難、處置費(fei)用高的(de)難題，降(jiang)低了(le)企業生產成本(ben)和廢(fei)硫酸處理費(fei)用，還促進了(le)鈦白粉(fen)生產單位的(de)升級改造、精準轉型(xing)和綠色發展，為日后集成電路(lu)產業的(de)蓬勃發展鋪平(ping)了(le)道路(lu)。

　　深入推進“點(dian)對點(dian)”資(zi)源化再利(li)用

　　“在探索(suo)推(tui)行這(zhe)一新模式的過程(cheng)中(zhong)，我(wo)們(men)以守(shou)好環(huan)境(jing)底線為(wei)前(qian)(qian)提(ti)，做(zuo)到嚴格把關(guan)，按程(cheng)序推(tui)進。”上海市生(sheng)態環(huan)境(jing)局(ju)相(xiang)關(guan)負責人介紹，在前(qian)(qian)期(qi)提(ti)出(chu)設想(xiang)并(bing)加(jia)以論(lun)證的基(ji)礎(chu)上，他們(men)于2016年發文，同(tong)意將中(zhong)芯(xin)國(guo)際和澎博(bo)公司設立(li)為(wei)上海市首個廢硫酸定向再(zai)利(li)用試點(dian)單位，利(li)用芯(xin)片廢硫酸生(sheng)產鈦白粉。

　　2019年11月，上海市生態(tai)環境(jing)局同意4家(jia)企(qi)業廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)定向資(zi)源化再利(li)用(yong)備(bei)案。2020年10月，上海市生態(tai)環境(jing)局擴大廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)定向資(zi)源化再利(li)用(yong)備(bei)案，新增4家(jia)企(qi)業，全面覆(fu)蓋(gai)上海市具備(bei)回收(shou)廢(fei)酸(suan)(suan)條(tiao)件的集成(cheng)電路制造企(qi)業。

　　據介紹，目前，各方進展(zhan)順(shun)利，各試點企業在嚴(yan)格執行危險廢物(wu)(wu)各項(xiang)管理制(zhi)度下，廢硫酸(suan)源頭品質得到保(bao)障，并(bing)委托(tuo)具有相關運(yun)輸(shu)資質的單位專人專車進行運(yun)輸(shu)。澎博公司(si)在廢酸(suan)使用(yong)期(qi)間，生(sheng)產運(yun)行穩(wen)定，各項(xiang)污染(ran)物(wu)(wu)排放(fang)環(huan)保(bao)指標檢測均符合(he)排放(fang)標準。同時，澎博公司(si)對生(sheng)產設備工藝進行優化(hua)改(gai)造，在末端形成了(le)可滿足近期(qi)集成電路產業發展(zhan)需求(qiu)的每(mei)年6萬噸(dun)廢硫酸(suan)利用(yong)能(neng)力。

　　“十四五(wu)”期間，上海(hai)的(de)(de)集成電(dian)路產(chan)量將快速(su)增長，需(xu)處置的(de)(de)廢(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)量也(ye)將隨之(zhi)增加(jia)。據最新統計，2020年(nian)產(chan)生廢(fei)酸(suan)1.25萬噸，2021年(nian)預計為2.8萬噸，到2022年(nian)上海(hai)芯(xin)片企業產(chan)生的(de)(de)廢(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)將高(gao)達(da)(da)6萬噸，2025年(nian)將達(da)(da)到10萬噸以上。

　　面對這(zhe)一形勢，上(shang)海(hai)各相(xiang)關部(bu)門召(zhao)開會(hui)議制定了(le)(le)“提前謀劃改(gai)造(zao)，形成(cheng)需求匹配、長久穩定”的廢硫酸利用原(yuan)則(ze)。上(shang)海(hai)市發(fa)改(gai)委(wei)、上(shang)海(hai)市經濟和信息化委(wei)還專門組織專家隊伍到(dao)資源化綜(zong)合利用企(qi)業澎(peng)博公司開展(zhan)現場調(diao)研，了(le)(le)解(jie)情況(kuang)，聽取企(qi)業和行業專家的意(yi)見(jian)和建議。

　　作為廢(fei)(fei)酸再利用定(ding)點企業，澎博(bo)(bo)公司(si)也啟(qi)動(dong)了(le)匹(pi)配廢(fei)(fei)酸資源化利用技改規劃，積極響應上(shang)級部門對澎博(bo)(bo)公司(si)以廢(fei)(fei)定(ding)產、提前謀(mou)劃的要求(qiu)，規劃“集成電路(lu)行業10萬噸廢(fei)(fei)酸資源化利用”技改。

　　在(zai)(zai)上(shang)海(hai)市人民政府(fu)近日印發的(de)《上(shang)海(hai)市2021-2023年生(sheng)態環境保護(hu)和(he)建設三年行(xing)動》文(wen)(wen)件上(shang)，記(ji)者也注意(yi)到相關條文(wen)(wen)：在(zai)(zai)環境可控的(de)前提下，持續推動集(ji)成(cheng)電路行(xing)業廢酸等危(wei)險廢物“點對點”定(ding)向(xiang)資源化利(li)用工(gong)作(zuo)，形成(cheng)穩定(ding)的(de)與集(ji)成(cheng)電路行(xing)業未(wei)來(lai)發展(zhan)相適(shi)應的(de)廢酸處置(zhi)利(li)用能(neng)力。

　　據悉(xi)，未來，這種廢棄硫酸“點對點”資(zi)源化(hua)定向(xiang)再(zai)利用模式，將有力保障我國集成電(dian)路行業的(de)發展，也將對其他(ta)行業的(de)危險廢物(wu)綜合利用起到借鑒和引領作用。

來源：中國環境報