中(zhong)國環(huan)境報見習記者 丁(ding)波 記者 蔡新華(hua) 上(shang)海被(bei)賦予(yu)打造集成(cheng)電路產業高(gao)地的重大任務，隨著產業規模(mo)逐步擴大，廢(fei)酸環(huan)境無(wu)害化(hua)處置成(cheng)為突(tu)出問題。據了(le)解，上(shang)海通過(guo) “點對點”資源(yuan)化(hua)定向再利用創新模(mo)式已(yi)破解這一(yi)難題。

　　日前，一輛(liang)掛有危(wei)險標(biao)識的(de)罐(guan)裝(zhuang)運輸(shu)車(che)穩穩駛入廠區，公司專職(zhi)管理(li)員引(yin)(yin)導車(che)輛(liang)，過磅(bang)、取樣、檢(jian)驗(yan)、聯單簽(qian)收……一系列流程(cheng)后(hou)，車(che)被引(yin)(yin)導至專用卸車(che)區，車(che)上的(de)特殊(shu)液體被接收到公司的(de)原料儲料罐(guan)中，等(deng)待(dai)用于后(hou)續的(de)生產。

　　這是記(ji)者在位(wei)于金山第二工業區內的(de)上(shang)海(hai)澎博鈦白(bai)粉有(you)限公(gong)司(以下簡稱澎博公(gong)司)看(kan)到的(de)場景。罐裝車內裝運的(de)是液體硫酸(suan)，它的(de)特殊性在于是上(shang)游集成(cheng)電路(lu)芯片生(sheng)產企業使用過的(de)廢棄(qi)硫酸(suan)。

　　在現(xian)場，公(gong)司負責人何文(wen)龍告訴(su)記(ji)者，公(gong)司是上海市集成電(dian)路芯片行業產生(sheng)的(de)廢硫(liu)酸資源化利(li)用定點(dian)單位(wei)，每天安排專(zhuan)用車輛將(jiang)廢酸運回工廠，經過嚴格的(de)檢(jian)驗流程后再投(tou)入(ru)到鈦(tai)白(bai)粉生(sheng)產當中，今年1月-7月已處置利(li)用廢酸1.5萬(wan)噸。

　　新模式(shi)解決行(xing)業發展難題

　　據上海(hai)市(shi)生態環境局(ju)相關負(fu)責(ze)人介(jie)紹，上海(hai)首(shou)創的(de)廢(fei)硫(liu)酸(suan)“點(dian)對點(dian)”資源化(hua)定(ding)向再利(li)用模(mo)式(shi)運用逐步成(cheng)熟，目(mu)前已經(jing)全部覆蓋了上海(hai)具備回收廢(fei)酸(suan)條件(jian)的(de)集(ji)成(cheng)電路芯片制(zhi)造企業，總體(ti)上穩(wen)定(ding)地解決了上海(hai)集(ji)成(cheng)電路芯片制(zhi)造企業廢(fei)硫(liu)酸(suan)處置(zhi)問(wen)題(ti)。

　　據(ju)上海市(shi)集(ji)成電路行(xing)業協會(hui)相關負責人(ren)介紹，集(ji)成電路產業生(sheng)產過(guo)程中會(hui)使(shi)用(yong)大量濃(nong)硫(liu)酸(suan)，排放以硫(liu)酸(suan)物質為(wei)主(zhu)，處理(li)廢硫(liu)酸(suan)成本(ben)很(hen)高，同時會(hui)存(cun)在一(yi)定的生(sheng)態環境安全風險(xian)。這(zhe)個問題成為(wei)阻礙行(xing)業發展的難題。

　　直(zhi)面痛點(dian)(dian)。在上(shang)海(hai)(hai)市經(jing)濟(ji)和信息(xi)化(hua)(hua)委、上(shang)海(hai)(hai)市生(sheng)態環境局等相關(guan)部門(men)的(de)支持(chi)下(xia)，上(shang)海(hai)(hai)市固體廢(fei)物和化(hua)(hua)學品管(guan)理技術中心、上(shang)海(hai)(hai)市集成電(dian)路行業協會積極(ji)探索，多(duo)次召開專家研討會論證處置方案(an)，并于2016年開始由(you)中芯國(guo)際和澎(peng)博公司(si)開展廢(fei)硫酸“點(dian)(dian)對點(dian)(dian)”資源(yuan)化(hua)(hua)定向再利用試點(dian)(dian)運行，經(jing)過多(duo)輪試點(dian)(dian)驗證，最(zui)終形成較(jiao)為成熟(shu)的(de)經(jing)驗。

　　去(qu)年，上海市(shi)集成電路行業(ye)協會會同多部門專門編寫形成了(le)《鈦白粉用集成電路制造行業(ye)廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標準，在上海市(shi)質量技術監督部門網(wang)站和國家(jia)標準網(wang)上進(jin)行公示(shi)，全力保障廢酸源頭質量的把(ba)控。

　　多維度(du)再(zai)利用效益明顯

　　廢(fei)(fei)硫酸(suan)“點(dian)對(dui)點(dian)”資(zi)源化(hua)定向(xiang)再(zai)利用(yong)(yong)，這一新(xin)模(mo)式(shi)的(de)(de)環境(jing)(jing)效(xiao)益、經濟效(xiao)益和社會效(xiao)益都很顯著。相關專家告訴記者(zhe)，模(mo)式(shi)的(de)(de)核心(xin)是實現集成(cheng)電路制造過程中產生的(de)(de)廢(fei)(fei)硫酸(suan)替代鈦(tai)白粉(fen)生產工藝(yi)過程中用(yong)(yong)到的(de)(de)工業硫酸(suan)。經過試點(dian)驗證，這種模(mo)式(shi)技術可行性很強，廢(fei)(fei)酸(suan)再(zai)利用(yong)(yong)單位在(zai)使用(yong)(yong)廢(fei)(fei)硫酸(suan)生產鈦(tai)白粉(fen)時(shi)，不需要調(diao)整現有工藝(yi)。同(tong)時(shi)，替用(yong)(yong)過程不增加額外的(de)(de)環境(jing)(jing)負擔(dan)與風險，不影響產品的(de)(de)質(zhi)量，符合“固體廢(fei)(fei)物減量化(hua)、資(zi)源化(hua)和無害(hai)化(hua)”原則。

　　談到經濟效益(yi)，這位專(zhuan)家給記(ji)者算(suan)了一筆賬：澎博(bo)(bo)公(gong)司再利(li)(li)用(yong)(yong)(yong)廢(fei)硫酸(suan)(suan)每噸(dun)收費500元，按照上海市(shi)往年廢(fei)硫酸(suan)(suan)處置費每噸(dun)2000元計算(suan)，今年1月至7月，澎博(bo)(bo)公(gong)司累計利(li)(li)用(yong)(yong)(yong)廢(fei)硫酸(suan)(suan)1.5萬噸(dun)，集成電路生產企(qi)業(ye)(ye)可節約2250萬元。同(tong)時，澎博(bo)(bo)公(gong)司也節省(sheng)了購置工業(ye)(ye)濃硫酸(suan)(suan)的費用(yong)(yong)(yong)，產廢(fei)企(qi)業(ye)(ye)和(he)再利(li)(li)用(yong)(yong)(yong)企(qi)業(ye)(ye)達到了“雙贏(ying)”。

　　此外，新(xin)模式還(huan)符合循(xun)環(huan)經濟(ji)產業需求(qiu)，不僅解決(jue)了廢硫酸處(chu)置(zhi)出路(lu)難(nan)、處(chu)置(zhi)費用高的難(nan)題，降低了企業生(sheng)(sheng)產成(cheng)本和廢硫酸處(chu)理費用，還(huan)促進了鈦白粉生(sheng)(sheng)產單位的升(sheng)級(ji)改造、精準轉型和綠(lv)色發展(zhan)，為日后集成(cheng)電路(lu)產業的蓬勃發展(zhan)鋪平(ping)了道(dao)路(lu)。

　　深入(ru)推進“點(dian)對點(dian)”資源化再利(li)用

　　“在探(tan)索推行(xing)這一新(xin)模式的過程(cheng)(cheng)中，我們(men)以守好環(huan)境底(di)線(xian)為(wei)(wei)前(qian)提，做到嚴格把關，按程(cheng)(cheng)序推進。”上海(hai)市生態(tai)環(huan)境局相關負責人介(jie)紹，在前(qian)期(qi)提出(chu)設(she)想(xiang)并加(jia)以論證的基礎上，他們(men)于2016年發(fa)文，同意(yi)將中芯(xin)國際和澎博公司(si)設(she)立為(wei)(wei)上海(hai)市首個廢(fei)硫酸(suan)定(ding)向(xiang)再(zai)利用(yong)試點單位，利用(yong)芯(xin)片(pian)廢(fei)硫酸(suan)生產鈦白粉。

　　2019年(nian)(nian)11月(yue)，上海(hai)市生態環(huan)境局同意4家(jia)企(qi)業(ye)廢(fei)硫酸定向(xiang)資源(yuan)化再利(li)(li)用備(bei)案。2020年(nian)(nian)10月(yue)，上海(hai)市生態環(huan)境局擴大(da)廢(fei)硫酸定向(xiang)資源(yuan)化再利(li)(li)用備(bei)案，新(xin)增4家(jia)企(qi)業(ye)，全(quan)面覆蓋上海(hai)市具備(bei)回收廢(fei)酸條件(jian)的集成電路制造(zao)企(qi)業(ye)。

　　據介紹，目前，各(ge)方(fang)進(jin)展(zhan)順利，各(ge)試點(dian)企業(ye)在(zai)(zai)嚴格執行(xing)危險廢(fei)(fei)物各(ge)項(xiang)管(guan)理制(zhi)度(du)下(xia)，廢(fei)(fei)硫酸(suan)源(yuan)頭品(pin)質(zhi)得到保障，并委托(tuo)具有相(xiang)關運輸資質(zhi)的單位專(zhuan)人(ren)專(zhuan)車進(jin)行(xing)運輸。澎博公司在(zai)(zai)廢(fei)(fei)酸(suan)使用期間，生產(chan)運行(xing)穩定，各(ge)項(xiang)污染物排放(fang)環保指標檢(jian)測均符合排放(fang)標準。同時，澎博公司對生產(chan)設備工藝進(jin)行(xing)優(you)化改造，在(zai)(zai)末端(duan)形成了可滿足近期集成電路產(chan)業(ye)發展(zhan)需求的每(mei)年6萬(wan)噸廢(fei)(fei)硫酸(suan)利用能力(li)。

　　“十四五”期間，上海的集成電路產量(liang)將(jiang)快速(su)增長，需(xu)處置的廢硫酸(suan)量(liang)也將(jiang)隨之增加。據(ju)最(zui)新(xin)統計，2020年產生廢酸(suan)1.25萬(wan)噸(dun)，2021年預計為2.8萬(wan)噸(dun)，到2022年上海芯片企業產生的廢硫酸(suan)將(jiang)高(gao)達(da)6萬(wan)噸(dun)，2025年將(jiang)達(da)到10萬(wan)噸(dun)以上。

　　面對(dui)這一(yi)形勢，上海各相關部門召開會議(yi)制(zhi)定了“提前謀劃改(gai)造，形成需(xu)求匹配、長久穩(wen)定”的廢硫酸利(li)用原則(ze)。上海市發改(gai)委(wei)、上海市經濟和(he)信息化(hua)(hua)委(wei)還專(zhuan)門組織專(zhuan)家隊伍(wu)到資源化(hua)(hua)綜合利(li)用企業(ye)澎博公司開展現(xian)場調研，了解情(qing)況，聽(ting)取企業(ye)和(he)行業(ye)專(zhuan)家的意見和(he)建(jian)議(yi)。

　　作(zuo)為廢酸(suan)(suan)再(zai)利用(yong)定點企業，澎博公(gong)司也啟動(dong)了(le)匹(pi)配廢酸(suan)(suan)資源(yuan)化(hua)利用(yong)技改規劃(hua)，積極響應上級部(bu)門(men)對澎博公(gong)司以廢定產、提前(qian)謀劃(hua)的要求，規劃(hua)“集(ji)成電路行業10萬噸廢酸(suan)(suan)資源(yuan)化(hua)利用(yong)”技改。

　　在(zai)上(shang)海(hai)市(shi)(shi)人(ren)民政(zheng)府(fu)近日印發(fa)的(de)《上(shang)海(hai)市(shi)(shi)2021-2023年生態環境保護和建設三年行(xing)動》文件上(shang)，記(ji)者也注意到(dao)相關條文：在(zai)環境可控的(de)前提下，持續(xu)推(tui)動集(ji)成電路行(xing)業(ye)廢酸(suan)等危(wei)險(xian)廢物“點(dian)對點(dian)”定向資源(yuan)化利用(yong)工(gong)作，形成穩定的(de)與集(ji)成電路行(xing)業(ye)未來發(fa)展相適應的(de)廢酸(suan)處置(zhi)利用(yong)能力。

　　據(ju)悉(xi)，未來，這種廢(fei)(fei)棄(qi)硫酸“點(dian)對點(dian)”資(zi)源化定向再(zai)利用模式，將有力保障我(wo)國集成(cheng)電路行業(ye)的發展，也將對其他行業(ye)的危險(xian)廢(fei)(fei)物綜合利用起到借鑒和引領作(zuo)用。

來源：中國環(huan)境報