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上海廢棄硫酸實行“點對點”資源化利用

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【摘(zhai)要】:

  中國(guo)環境報見習記(ji)者 丁波 記(ji)者 蔡新華 上海被賦予打造集成(cheng)電路產業高地的重大任務,隨著產業規模逐步(bu)擴(kuo)大,廢酸環境無害化(hua)處置成(cheng)為突出問(wen)題(ti)。據(ju)了解(jie),上海通過 “點對點”資源化(hua)定向再利用創新模式已破解(jie)這(zhe)一難題(ti)。

  日(ri)前,一(yi)輛掛有危險標識的(de)罐裝(zhuang)運輸車(che)穩穩駛入廠區,公司(si)(si)專職管理員引導車(che)輛,過(guo)磅、取樣、檢驗、聯單(dan)簽收……一(yi)系列流程后(hou),車(che)被引導至專用卸車(che)區,車(che)上(shang)的(de)特殊液體(ti)被接(jie)收到公司(si)(si)的(de)原(yuan)料儲(chu)料罐中,等待用于后(hou)續的(de)生(sheng)產。

  這是記者在位于(yu)金山第(di)二工(gong)業區內的上海澎博(bo)鈦白粉有限公(gong)司(以下(xia)簡稱澎博(bo)公(gong)司)看(kan)到的場(chang)景(jing)。罐裝車內裝運的是液體硫酸(suan),它的特(te)殊性在于(yu)是上游集成電路芯(xin)片生產企(qi)業使用過(guo)的廢(fei)棄硫酸(suan)。

  在現場,公(gong)司負責人何文(wen)龍告(gao)訴記者,公(gong)司是上海市集成電(dian)路芯片行業產生(sheng)的(de)廢(fei)(fei)硫酸資(zi)源化利用(yong)定點單位(wei),每天(tian)安排專用(yong)車(che)輛將廢(fei)(fei)酸運回工(gong)廠,經過嚴格的(de)檢驗(yan)流程(cheng)后再投入(ru)到(dao)鈦白(bai)粉(fen)生(sheng)產當中,今年1月-7月已(yi)處置(zhi)利用(yong)廢(fei)(fei)酸1.5萬噸(dun)。

  新模式(shi)解(jie)決行業發展難(nan)題

  據(ju)上(shang)(shang)海(hai)市(shi)生(sheng)態環境(jing)局相關負責人介紹(shao),上(shang)(shang)海(hai)首(shou)創的廢硫(liu)酸(suan)“點對點”資(zi)源化定向(xiang)再利用模(mo)式運(yun)用逐步成(cheng)熟,目前已經全部覆(fu)蓋了上(shang)(shang)海(hai)具備回(hui)收(shou)廢酸(suan)條件的集成(cheng)電路芯(xin)(xin)片制(zhi)造企業(ye),總(zong)體上(shang)(shang)穩定地解決了上(shang)(shang)海(hai)集成(cheng)電路芯(xin)(xin)片制(zhi)造企業(ye)廢硫(liu)酸(suan)處置問題。

  據上海(hai)市集成(cheng)電(dian)(dian)路行業(ye)(ye)協會相(xiang)關負責人介紹,集成(cheng)電(dian)(dian)路產業(ye)(ye)生產過程中會使用大量濃硫(liu)(liu)酸,排(pai)放以硫(liu)(liu)酸物質為主,處理廢(fei)硫(liu)(liu)酸成(cheng)本很高,同(tong)時會存在一定(ding)的生態環境安全風險(xian)。這個問題成(cheng)為阻礙(ai)行業(ye)(ye)發展的難(nan)題。

  直面痛點(dian)。在上(shang)海(hai)市(shi)經(jing)(jing)濟和(he)信息(xi)化(hua)委(wei)、上(shang)海(hai)市(shi)生(sheng)態環境局(ju)等相關部門的支持(chi)下,上(shang)海(hai)市(shi)固(gu)體廢(fei)物和(he)化(hua)學品管理技術中(zhong)心、上(shang)海(hai)市(shi)集成電路(lu)行業協會積極(ji)探(tan)索,多次召(zhao)開(kai)專家研(yan)討會論(lun)證處置方案,并于2016年(nian)開(kai)始(shi)由中(zhong)芯國際和(he)澎博公司開(kai)展(zhan)廢(fei)硫酸(suan)“點(dian)對點(dian)”資源化(hua)定(ding)向再利用試點(dian)運(yun)行,經(jing)(jing)過多輪試點(dian)驗(yan)證,最(zui)終形(xing)成較為成熟的經(jing)(jing)驗(yan)。

  去年,上(shang)海市集成(cheng)電路行業協會會同(tong)多部門專門編寫形成(cheng)了《鈦白粉用集成(cheng)電路制造行業廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體(ti)標準,在上(shang)海市質(zhi)量技術監督(du)部門網站和國家(jia)標準網上(shang)進行公示,全(quan)力保障廢酸源頭質(zhi)量的把控。

  多維(wei)度再利用(yong)效(xiao)益(yi)明顯

  廢硫(liu)酸(suan)“點(dian)(dian)對點(dian)(dian)”資(zi)源(yuan)化定向再(zai)利(li)(li)用(yong)(yong),這(zhe)一新模(mo)式(shi)的(de)環境效(xiao)益(yi)、經濟效(xiao)益(yi)和(he)(he)社(she)會(hui)效(xiao)益(yi)都很顯著。相關專家告訴記者,模(mo)式(shi)的(de)核心是實現集成電路(lu)制造過(guo)程(cheng)中產生的(de)廢硫(liu)酸(suan)替(ti)代鈦白粉生產工藝過(guo)程(cheng)中用(yong)(yong)到的(de)工業(ye)硫(liu)酸(suan)。經過(guo)試(shi)點(dian)(dian)驗證,這(zhe)種模(mo)式(shi)技術可行性很強,廢酸(suan)再(zai)利(li)(li)用(yong)(yong)單位(wei)在使用(yong)(yong)廢硫(liu)酸(suan)生產鈦白粉時(shi),不需要調整現有工藝。同時(shi),替(ti)用(yong)(yong)過(guo)程(cheng)不增加額外的(de)環境負擔與風險,不影(ying)響(xiang)產品的(de)質量,符合(he)“固體廢物減量化、資(zi)源(yuan)化和(he)(he)無害化”原則(ze)。

  談到(dao)經(jing)濟效益,這位專家給記者算了(le)一筆賬:澎(peng)博公(gong)司(si)(si)再利(li)用(yong)廢硫(liu)(liu)酸(suan)每(mei)噸收(shou)費(fei)500元,按照上海市(shi)往年(nian)廢硫(liu)(liu)酸(suan)處置(zhi)費(fei)每(mei)噸2000元計算,今年(nian)1月至7月,澎(peng)博公(gong)司(si)(si)累計利(li)用(yong)廢硫(liu)(liu)酸(suan)1.5萬噸,集成(cheng)電路生產企(qi)業(ye)可(ke)節約2250萬元。同時,澎(peng)博公(gong)司(si)(si)也(ye)節省了(le)購置(zhi)工業(ye)濃硫(liu)(liu)酸(suan)的費(fei)用(yong),產廢企(qi)業(ye)和(he)再利(li)用(yong)企(qi)業(ye)達到(dao)了(le)“雙贏”。

  此外,新模式還符合循(xun)環經(jing)濟(ji)產業需求,不僅解決了(le)廢(fei)硫酸(suan)處置出路難(nan)、處置費(fei)用高的難(nan)題,降(jiang)低了(le)企(qi)業生(sheng)產成(cheng)(cheng)本和(he)廢(fei)硫酸(suan)處理(li)費(fei)用,還促進了(le)鈦白粉生(sheng)產單位的升級改造、精準轉(zhuan)型和(he)綠(lv)色發(fa)展,為日(ri)后集(ji)成(cheng)(cheng)電路產業的蓬勃發(fa)展鋪平了(le)道路。

  深入(ru)推進“點對點”資(zi)源化再利用

  “在探索推(tui)行這一新(xin)模式的(de)過程中,我們以守好環境底線為(wei)前提,做到嚴格把關,按程序推(tui)進(jin)。”上(shang)海市(shi)生(sheng)態環境局相(xiang)關負(fu)責(ze)人(ren)介(jie)紹,在前期提出設想(xiang)并加(jia)以論證(zheng)的(de)基礎(chu)上(shang),他們于2016年(nian)發文,同意將中芯(xin)國際和澎博公(gong)司設立為(wei)上(shang)海市(shi)首個廢(fei)硫(liu)(liu)酸定向再利(li)用試點單位,利(li)用芯(xin)片廢(fei)硫(liu)(liu)酸生(sheng)產鈦白粉。

  2019年(nian)11月(yue),上(shang)海(hai)市生態環(huan)境(jing)局同意4家企(qi)業廢(fei)硫(liu)酸定(ding)向資源(yuan)(yuan)化再利用備(bei)案。2020年(nian)10月(yue),上(shang)海(hai)市生態環(huan)境(jing)局擴大廢(fei)硫(liu)酸定(ding)向資源(yuan)(yuan)化再利用備(bei)案,新增4家企(qi)業,全(quan)面覆蓋上(shang)海(hai)市具(ju)備(bei)回(hui)收廢(fei)酸條件的(de)集成電路制造企(qi)業。

  據介(jie)紹,目前,各方進展順利,各試點企業在嚴格執(zhi)行危險廢(fei)物各項管理制(zhi)度下,廢(fei)硫(liu)酸源頭品質得到保(bao)障,并委托具有相(xiang)關運輸(shu)資質的單(dan)位專人專車(che)進行運輸(shu)。澎(peng)博公(gong)司在廢(fei)酸使用(yong)(yong)期(qi)間,生產運行穩定,各項污染物排放環保(bao)指標(biao)(biao)檢(jian)測均(jun)符合排放標(biao)(biao)準。同(tong)時,澎(peng)博公(gong)司對生產設備工藝進行優化(hua)改(gai)造(zao),在末端形成(cheng)了可滿足(zu)近期(qi)集成(cheng)電路產業發展需求(qiu)的每年(nian)6萬噸(dun)廢(fei)硫(liu)酸利用(yong)(yong)能力。

  “十四五”期間,上海(hai)(hai)的集成電路(lu)產量將(jiang)快速增長(chang),需(xu)處置(zhi)的廢硫(liu)酸量也(ye)將(jiang)隨之增加。據(ju)最新統(tong)計,2020年(nian)產生廢酸1.25萬(wan)(wan)噸(dun),2021年(nian)預計為2.8萬(wan)(wan)噸(dun),到(dao)2022年(nian)上海(hai)(hai)芯片企業產生的廢硫(liu)酸將(jiang)高(gao)達6萬(wan)(wan)噸(dun),2025年(nian)將(jiang)達到(dao)10萬(wan)(wan)噸(dun)以上。

  面對這一形勢,上(shang)海(hai)各相關(guan)部(bu)門召開會(hui)議制定了(le)“提前謀劃改造(zao),形成需求匹配、長久(jiu)穩(wen)定”的(de)廢硫酸利用原則。上(shang)海(hai)市發改委(wei)、上(shang)海(hai)市經濟和信息化委(wei)還專(zhuan)門組織(zhi)專(zhuan)家(jia)隊(dui)伍到資(zi)源化綜合利用企(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)澎博公(gong)司開展(zhan)現(xian)場調研(yan),了(le)解情況,聽取企(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)和行業(ye)(ye)(ye)專(zhuan)家(jia)的(de)意見(jian)和建議。

  作為廢(fei)(fei)酸(suan)再利用定點(dian)企業,澎博(bo)公司也啟動了匹配廢(fei)(fei)酸(suan)資源(yuan)化利用技(ji)改規劃,積極響應上級(ji)部門對澎博(bo)公司以廢(fei)(fei)定產、提前謀劃的要求,規劃“集成電(dian)路行業10萬(wan)噸廢(fei)(fei)酸(suan)資源(yuan)化利用”技(ji)改。

  在(zai)上海(hai)(hai)市(shi)人民政府近日印(yin)發的(de)《上海(hai)(hai)市(shi)2021-2023年(nian)生態環境(jing)保護和建設三年(nian)行動(dong)》文(wen)(wen)件(jian)上,記者也注意(yi)到相關條文(wen)(wen):在(zai)環境(jing)可控的(de)前提(ti)下,持續(xu)推動(dong)集成電路(lu)行業(ye)(ye)廢酸(suan)等危險廢物“點(dian)對點(dian)”定向資源化利用工作,形(xing)成穩定的(de)與集成電路(lu)行業(ye)(ye)未來發展相適應(ying)的(de)廢酸(suan)處置利用能力。

  據悉,未來(lai),這種廢(fei)棄硫酸“點對(dui)點”資源化(hua)定向再利(li)用模式,將有力(li)保障我國集成電路(lu)行業(ye)(ye)的發展,也將對(dui)其(qi)他行業(ye)(ye)的危險廢(fei)物綜合利(li)用起到借鑒和引(yin)領作(zuo)用。

來(lai)源:中國環境(jing)報