中國環境報見習記者 丁波(bo) 記者 蔡新(xin)華 上(shang)海被賦予(yu)打造集成電路產業高地的重大(da)任務，隨著(zhu)產業規模逐步擴大(da)，廢酸環境無害(hai)化處(chu)置成為(wei)突出問(wen)題。據了解(jie)，上(shang)海通過 “點對點”資源化定(ding)向再利(li)用創新(xin)模式(shi)已破解(jie)這一難題。

　　日前，一輛(liang)掛有(you)危險(xian)標(biao)識的(de)罐裝(zhuang)運(yun)輸車穩(wen)穩(wen)駛(shi)入廠區(qu)(qu)，公(gong)司專職管理員引導(dao)車輛(liang)，過磅(bang)、取(qu)樣、檢驗(yan)、聯單(dan)簽收(shou)……一系列流程后，車被(bei)引導(dao)至專用卸(xie)車區(qu)(qu)，車上的(de)特殊液體被(bei)接(jie)收(shou)到公(gong)司的(de)原(yuan)料儲(chu)料罐中，等待用于后續的(de)生(sheng)產。

　　這(zhe)是(shi)(shi)記(ji)者在位于金山第二工業區(qu)內的(de)上海澎博(bo)鈦白粉有限公司(si)(以下簡稱澎博(bo)公司(si))看到(dao)的(de)場景。罐裝(zhuang)(zhuang)車內裝(zhuang)(zhuang)運的(de)是(shi)(shi)液體硫酸(suan)，它的(de)特殊(shu)性在于是(shi)(shi)上游(you)集成(cheng)電路芯片生(sheng)產企業使用過的(de)廢棄硫酸(suan)。

　　在現場，公司(si)負責人何文龍告訴記者(zhe)，公司(si)是上海(hai)市(shi)集成(cheng)電路芯片行業產(chan)生的廢硫(liu)酸資源化(hua)利用(yong)定點單(dan)位(wei)，每天安(an)排專用(yong)車輛將廢酸運回工廠(chang)，經過(guo)嚴(yan)格(ge)的檢驗流程后再投入到鈦白粉生產(chan)當中，今年1月-7月已處置利用(yong)廢酸1.5萬噸(dun)。

　　新模式解決行業發(fa)展難(nan)題(ti)

　　據上(shang)海市生態(tai)環境局相關負責人介紹(shao)，上(shang)海首創的(de)(de)廢硫酸(suan)“點對點”資(zi)源化定向再利用模式運(yun)用逐步成熟，目前已經全部覆蓋(gai)了上(shang)海具備回收廢酸(suan)條件(jian)的(de)(de)集成電(dian)路芯片制造企業，總體上(shang)穩定地解決了上(shang)海集成電(dian)路芯片制造企業廢硫酸(suan)處(chu)置問題。

　　據上(shang)海市集成電路(lu)行業(ye)(ye)協會相關負責(ze)人介紹，集成電路(lu)產業(ye)(ye)生產過程(cheng)中會使用大量(liang)濃硫酸(suan)，排放以硫酸(suan)物質為主，處(chu)理廢硫酸(suan)成本很高，同(tong)時會存在一(yi)定的(de)生態環境(jing)安全(quan)風險。這個問(wen)題(ti)(ti)成為阻礙行業(ye)(ye)發展的(de)難(nan)題(ti)(ti)。

　　直面(mian)痛點(dian)。在上(shang)海(hai)市(shi)經濟和(he)信(xin)息(xi)化委、上(shang)海(hai)市(shi)生態環境局等相關部門的(de)支持下，上(shang)海(hai)市(shi)固體廢物和(he)化學品管理技術(shu)中(zhong)心、上(shang)海(hai)市(shi)集成(cheng)電路行業(ye)協會積(ji)極探索，多次(ci)召開專(zhuan)家研討會論證(zheng)處置方案，并于2016年開始(shi)由(you)中(zhong)芯國際和(he)澎博公司(si)開展廢硫酸“點(dian)對點(dian)”資源化定(ding)向再利用試(shi)點(dian)運行，經過多輪試(shi)點(dian)驗證(zheng)，最終形成(cheng)較為成(cheng)熟的(de)經驗。

　　去年，上海市(shi)集成電路(lu)行業協(xie)會會同多部門專(zhuan)門編寫(xie)形成了《鈦白(bai)粉(fen)用集成電路(lu)制造行業廢(fei)硫(liu)酸》(T/SICA001-2020)團體標準，在上海市(shi)質(zhi)量技術(shu)監督部門網站和國(guo)家標準網上進行公示，全力保障廢(fei)酸源(yuan)頭質(zhi)量的把控。

　　多維度再利用效益明顯

　　廢硫酸“點(dian)對點(dian)”資源化定向再利用(yong)(yong)，這一新模式的(de)(de)(de)環(huan)境效益(yi)、經濟效益(yi)和(he)社會效益(yi)都很(hen)顯著。相關(guan)專(zhuan)家告(gao)訴(su)記者，模式的(de)(de)(de)核(he)心是實現集(ji)成(cheng)電路制造過程中產(chan)生的(de)(de)(de)廢硫酸替(ti)代鈦白粉生產(chan)工藝過程中用(yong)(yong)到的(de)(de)(de)工業硫酸。經過試點(dian)驗證，這種模式技術可行(xing)性很(hen)強，廢酸再利用(yong)(yong)單(dan)位在使(shi)用(yong)(yong)廢硫酸生產(chan)鈦白粉時(shi)，不需要調整現有工藝。同時(shi)，替(ti)用(yong)(yong)過程不增加(jia)額外的(de)(de)(de)環(huan)境負擔與風險，不影響產(chan)品的(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)，符合“固體(ti)廢物減(jian)量(liang)化、資源化和(he)無(wu)害(hai)化”原則。

　　談到經濟(ji)效益，這位專家(jia)給(gei)記者算(suan)了(le)一筆賬：澎博公(gong)司再(zai)利(li)用(yong)(yong)廢(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)每噸收(shou)費500元(yuan)，按照上海市往(wang)年(nian)廢(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)處置(zhi)費每噸2000元(yuan)計算(suan)，今年(nian)1月(yue)至7月(yue)，澎博公(gong)司累計利(li)用(yong)(yong)廢(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)1.5萬(wan)噸，集(ji)成電路生產企(qi)業(ye)可節約2250萬(wan)元(yuan)。同時(shi)，澎博公(gong)司也節省了(le)購置(zhi)工(gong)業(ye)濃硫(liu)酸(suan)的費用(yong)(yong)，產廢(fei)(fei)企(qi)業(ye)和再(zai)利(li)用(yong)(yong)企(qi)業(ye)達(da)到了(le)“雙贏”。

　　此(ci)外(wai)，新模式還(huan)符合循環經濟產(chan)業需求，不僅解決了廢硫(liu)(liu)酸處置(zhi)出路難、處置(zhi)費用(yong)高(gao)的(de)難題，降低了企業生產(chan)成本和(he)廢硫(liu)(liu)酸處理費用(yong)，還(huan)促進了鈦白粉(fen)生產(chan)單位(wei)的(de)升級改造、精準轉型和(he)綠色發展，為日(ri)后(hou)集成電路產(chan)業的(de)蓬(peng)勃(bo)發展鋪平了道路。

　　深入推(tui)進(jin)“點對(dui)點”資源(yuan)化再(zai)利用

　　“在(zai)探索推行(xing)這一新(xin)模式的(de)過程中(zhong)，我(wo)們以守好環境底線為前提，做到嚴格把關(guan)，按(an)程序推進。”上(shang)海(hai)市(shi)生(sheng)態環境局(ju)相關(guan)負(fu)責人介紹，在(zai)前期提出設(she)想并加以論證的(de)基礎上(shang)，他(ta)們于2016年發文，同(tong)意將中(zhong)芯(xin)國際和澎博公司設(she)立(li)為上(shang)海(hai)市(shi)首個廢硫酸定向再(zai)利用試(shi)點(dian)單位，利用芯(xin)片(pian)廢硫酸生(sheng)產(chan)鈦白(bai)粉(fen)。

　　2019年11月(yue)，上海市生態環境局同意4家企業廢硫(liu)酸定(ding)向(xiang)資源化(hua)再(zai)利用備案。2020年10月(yue)，上海市生態環境局擴大(da)廢硫(liu)酸定(ding)向(xiang)資源化(hua)再(zai)利用備案，新增4家企業，全面覆蓋上海市具(ju)備回收廢酸條件(jian)的(de)集成電路制(zhi)造企業。

　　據介紹，目前，各(ge)(ge)方進展順利(li)，各(ge)(ge)試點企業在嚴格執行危險廢物各(ge)(ge)項管理制度下，廢硫(liu)酸(suan)源頭(tou)品質得到保(bao)障，并委托具有相關運(yun)(yun)輸資質的(de)單(dan)位專人專車進行運(yun)(yun)輸。澎博公司(si)在廢酸(suan)使用期間(jian)，生產(chan)運(yun)(yun)行穩定，各(ge)(ge)項污染(ran)物排(pai)放環(huan)保(bao)指(zhi)標(biao)檢測均(jun)符合排(pai)放標(biao)準。同時，澎博公司(si)對生產(chan)設備工藝進行優(you)化改造，在末端形(xing)成了可滿足近期集成電路產(chan)業發展需(xu)求的(de)每年6萬噸廢硫(liu)酸(suan)利(li)用能力(li)。

　　“十四(si)五”期(qi)間，上海的(de)集成電(dian)路產(chan)量將快速增長，需(xu)處置的(de)廢硫酸(suan)量也將隨之增加。據最新統計，2020年(nian)產(chan)生廢酸(suan)1.25萬(wan)噸，2021年(nian)預計為(wei)2.8萬(wan)噸，到(dao)(dao)2022年(nian)上海芯片企(qi)業產(chan)生的(de)廢硫酸(suan)將高達6萬(wan)噸，2025年(nian)將達到(dao)(dao)10萬(wan)噸以上。

　　面(mian)對這一(yi)形(xing)勢，上(shang)海各相關部(bu)門(men)召開會議(yi)制(zhi)定了“提(ti)前謀劃改造，形(xing)成需求匹配、長久穩定”的廢硫酸利用原則。上(shang)海市(shi)發改委、上(shang)海市(shi)經(jing)濟和信(xin)息化(hua)委還(huan)專門(men)組織(zhi)專家(jia)隊伍到資(zi)源化(hua)綜合利用企(qi)業澎(peng)博公司開展現場調研(yan)，了解情(qing)況，聽取(qu)企(qi)業和行業專家(jia)的意見和建議(yi)。

　　作為廢酸(suan)再利(li)用定點企業，澎(peng)博公(gong)(gong)司也啟動(dong)了(le)匹配廢酸(suan)資源化利(li)用技改(gai)規劃(hua)(hua)，積極響應(ying)上級部門對澎(peng)博公(gong)(gong)司以廢定產、提(ti)前(qian)謀劃(hua)(hua)的要求，規劃(hua)(hua)“集成電路行(xing)業10萬噸廢酸(suan)資源化利(li)用”技改(gai)。

　　在上(shang)海(hai)(hai)市(shi)人(ren)民政府近日(ri)印發(fa)的《上(shang)海(hai)(hai)市(shi)2021-2023年生態環(huan)境保護和(he)建設三年行動》文件(jian)上(shang)，記(ji)者也(ye)注意(yi)到(dao)相關條(tiao)文：在環(huan)境可控的前提(ti)下，持續推動集成(cheng)電(dian)路行業廢(fei)(fei)酸等(deng)危險廢(fei)(fei)物(wu)“點(dian)對點(dian)”定向資源化利用工作，形成(cheng)穩定的與集成(cheng)電(dian)路行業未來發(fa)展相適應的廢(fei)(fei)酸處置利用能(neng)力。

　　據悉(xi)，未(wei)來(lai)，這種廢棄(qi)硫酸“點對點”資源化定向再利(li)(li)用模式(shi)，將(jiang)有力保障我國集成(cheng)電路行(xing)業的發展(zhan)，也將(jiang)對其他行(xing)業的危險廢物綜(zong)合利(li)(li)用起(qi)到(dao)借鑒和引領作(zuo)用。

來源：中國環境報(bao)