中國(guo)環境報(bao)見習記(ji)者 丁波 記(ji)者 蔡新華 上海被賦予打造集成(cheng)(cheng)電路產業(ye)高(gao)地的重大(da)任務，隨著產業(ye)規模逐(zhu)步擴大(da)，廢酸環境無(wu)害化處置(zhi)成(cheng)(cheng)為突出問題(ti)。據了解，上海通過 “點(dian)對點(dian)”資源化定向再利用創新模式已破(po)解這一難題(ti)。

　　日前，一輛掛有(you)危險標識的罐裝運輸車穩穩駛入(ru)廠區，公(gong)司專職(zhi)管理員(yuan)引導車輛，過磅、取樣、檢驗、聯(lian)單簽收……一系列(lie)流程后，車被(bei)引導至專用(yong)卸車區，車上的特殊液體(ti)被(bei)接收到(dao)公(gong)司的原(yuan)料(liao)儲料(liao)罐中，等待用(yong)于后續的生產。

　　這(zhe)是記(ji)者在位(wei)于金山第(di)二(er)工業區(qu)內的(de)(de)上(shang)海澎博鈦(tai)白粉(fen)有限公司(si)(以下(xia)簡(jian)稱澎博公司(si))看到的(de)(de)場景。罐裝車內裝運的(de)(de)是液(ye)體硫(liu)酸，它的(de)(de)特殊性在于是上(shang)游集成電路芯片生產企業使用過(guo)的(de)(de)廢棄(qi)硫(liu)酸。

　　在現場，公司(si)負責(ze)人何文龍告訴記者，公司(si)是(shi)上海市集(ji)成電(dian)路(lu)芯片行業產生的廢硫酸(suan)資源化利(li)用定點單位，每天安排(pai)專(zhuan)用車輛將廢酸(suan)運(yun)回工廠，經過嚴(yan)格的檢驗流程后(hou)再投(tou)入到鈦白粉生產當中，今(jin)年1月(yue)-7月(yue)已處置利(li)用廢酸(suan)1.5萬噸(dun)。

　　新模式解(jie)決行業(ye)發(fa)展難題

　　據上(shang)海(hai)(hai)(hai)市生態(tai)環境局相關負責人介紹，上(shang)海(hai)(hai)(hai)首創的廢硫酸“點對點”資(zi)源化定(ding)向再(zai)利用模式運用逐步(bu)成熟(shu)，目(mu)前(qian)已經全部覆蓋了(le)上(shang)海(hai)(hai)(hai)具備(bei)回(hui)收(shou)廢酸條件的集(ji)成電(dian)路芯片制造企(qi)業，總體上(shang)穩定(ding)地解決(jue)了(le)上(shang)海(hai)(hai)(hai)集(ji)成電(dian)路芯片制造企(qi)業廢硫酸處(chu)置問題。

　　據上(shang)海市(shi)集成(cheng)電路(lu)行(xing)業協會相關(guan)負責人介紹，集成(cheng)電路(lu)產業生(sheng)產過程中(zhong)會使用大量濃硫酸(suan)，排放以(yi)硫酸(suan)物質為(wei)主(zhu)，處理廢硫酸(suan)成(cheng)本很高(gao)，同(tong)時會存在一定的生(sheng)態環境安全風險。這個問題(ti)成(cheng)為(wei)阻(zu)礙行(xing)業發展的難題(ti)。

　　直面痛點。在上海(hai)市經(jing)(jing)濟和信息化委、上海(hai)市生態環境局等(deng)相關部門的支持下，上海(hai)市固(gu)體(ti)廢(fei)物(wu)和化學品管理技術中(zhong)心、上海(hai)市集(ji)成(cheng)電路行(xing)業協會(hui)積(ji)極探索，多(duo)次(ci)召開專家研討會(hui)論證(zheng)處置(zhi)方案，并于2016年(nian)開始(shi)由(you)中(zhong)芯國(guo)際和澎博公司(si)開展廢(fei)硫酸(suan)“點對點”資(zi)源化定(ding)向再利用試點運(yun)行(xing)，經(jing)(jing)過多(duo)輪試點驗(yan)證(zheng)，最終(zhong)形成(cheng)較為成(cheng)熟的經(jing)(jing)驗(yan)。

　　去年(nian)，上(shang)海(hai)市集成(cheng)(cheng)(cheng)電路(lu)行業協會(hui)會(hui)同多(duo)部門專門編寫形成(cheng)(cheng)(cheng)了(le)《鈦白粉用集成(cheng)(cheng)(cheng)電路(lu)制造行業廢硫酸(suan)》(T/SICA001-2020)團體標準，在上(shang)海(hai)市質量技術監(jian)督部門網站和(he)國家標準網上(shang)進行公示，全力保障廢酸(suan)源頭(tou)質量的(de)把控。

　　多維度再(zai)利用(yong)效(xiao)益明顯(xian)

　　廢(fei)(fei)硫酸(suan)“點對(dui)點”資(zi)源(yuan)化(hua)定向(xiang)再(zai)(zai)利用(yong)，這一新模式(shi)的(de)(de)環境(jing)效(xiao)益(yi)、經濟效(xiao)益(yi)和(he)社會(hui)效(xiao)益(yi)都很(hen)顯(xian)著(zhu)。相關專家告(gao)訴記(ji)者，模式(shi)的(de)(de)核心是實現(xian)集成(cheng)電路制造過(guo)程(cheng)中(zhong)產(chan)生的(de)(de)廢(fei)(fei)硫酸(suan)替(ti)代鈦白(bai)粉生產(chan)工藝過(guo)程(cheng)中(zhong)用(yong)到的(de)(de)工業硫酸(suan)。經過(guo)試點驗(yan)證，這種模式(shi)技(ji)術(shu)可行(xing)性很(hen)強，廢(fei)(fei)酸(suan)再(zai)(zai)利用(yong)單(dan)位(wei)在使用(yong)廢(fei)(fei)硫酸(suan)生產(chan)鈦白(bai)粉時(shi)，不需要調(diao)整現(xian)有工藝。同(tong)時(shi)，替(ti)用(yong)過(guo)程(cheng)不增加額外的(de)(de)環境(jing)負擔與(yu)風險，不影響產(chan)品(pin)的(de)(de)質量(liang)(liang)，符(fu)合“固(gu)體廢(fei)(fei)物減量(liang)(liang)化(hua)、資(zi)源(yuan)化(hua)和(he)無害化(hua)”原則。

　　談到經(jing)濟效益，這(zhe)位專家(jia)給記者(zhe)算(suan)了(le)一筆賬：澎(peng)(peng)博(bo)公司(si)再利(li)用廢(fei)硫(liu)(liu)酸每噸收費(fei)500元(yuan)，按照上海(hai)市往(wang)年廢(fei)硫(liu)(liu)酸處置費(fei)每噸2000元(yuan)計算(suan)，今年1月(yue)(yue)至7月(yue)(yue)，澎(peng)(peng)博(bo)公司(si)累計利(li)用廢(fei)硫(liu)(liu)酸1.5萬噸，集成電路生產企(qi)業(ye)可節約2250萬元(yuan)。同時，澎(peng)(peng)博(bo)公司(si)也(ye)節省了(le)購置工業(ye)濃硫(liu)(liu)酸的費(fei)用，產廢(fei)企(qi)業(ye)和再利(li)用企(qi)業(ye)達(da)到了(le)“雙贏”。

　　此外，新模式還符合(he)循環(huan)經濟產(chan)業(ye)(ye)需求，不僅解決(jue)了(le)(le)廢硫酸處(chu)置(zhi)出路(lu)難、處(chu)置(zhi)費(fei)用高(gao)的難題，降低了(le)(le)企業(ye)(ye)生產(chan)成(cheng)本和廢硫酸處(chu)理費(fei)用，還促進(jin)了(le)(le)鈦白粉生產(chan)單位(wei)的升級改(gai)造、精準轉(zhuan)型和綠色發展(zhan)，為日后集成(cheng)電路(lu)產(chan)業(ye)(ye)的蓬勃(bo)發展(zhan)鋪(pu)平了(le)(le)道路(lu)。

　　深入推進“點對點”資源化再利(li)用

　　“在(zai)探索推(tui)行這(zhe)一(yi)新模式的過程中(zhong)，我(wo)們以守好環境底(di)線(xian)為前(qian)提(ti)，做到嚴(yan)格把(ba)關(guan)，按(an)程序(xu)推(tui)進。”上(shang)海(hai)市(shi)生態環境局(ju)相關(guan)負責人介紹(shao)，在(zai)前(qian)期提(ti)出設想并加(jia)以論證的基礎上(shang)，他(ta)們于2016年發文，同意將中(zhong)芯國際和澎博公司(si)設立為上(shang)海(hai)市(shi)首個廢硫(liu)酸(suan)定向再利用(yong)試(shi)點單(dan)位，利用(yong)芯片廢硫(liu)酸(suan)生產鈦白粉。

　　2019年11月，上海市生態環境局同意(yi)4家企(qi)(qi)業(ye)廢(fei)(fei)硫酸(suan)定向資源化再利(li)用備(bei)(bei)案(an)。2020年10月，上海市生態環境局擴大廢(fei)(fei)硫酸(suan)定向資源化再利(li)用備(bei)(bei)案(an)，新增(zeng)4家企(qi)(qi)業(ye)，全面覆蓋上海市具備(bei)(bei)回收(shou)廢(fei)(fei)酸(suan)條件的集成電路制造企(qi)(qi)業(ye)。

　　據(ju)介紹，目(mu)前，各(ge)方進展(zhan)順利，各(ge)試點企業在嚴格執(zhi)行(xing)危險廢(fei)(fei)物(wu)各(ge)項(xiang)管理制度下(xia)，廢(fei)(fei)硫酸源頭品(pin)質得到保障，并委托具有相關(guan)運輸資質的(de)單位專人專車進行(xing)運輸。澎(peng)博(bo)公司(si)在廢(fei)(fei)酸使(shi)用期間，生產(chan)(chan)運行(xing)穩定，各(ge)項(xiang)污染物(wu)排放環(huan)保指標檢(jian)測均符合排放標準。同時，澎(peng)博(bo)公司(si)對(dui)生產(chan)(chan)設備工(gong)藝(yi)進行(xing)優化改造(zao)，在末端形成了可(ke)滿(man)足近期集成電路產(chan)(chan)業發(fa)展(zhan)需求(qiu)的(de)每年6萬(wan)噸廢(fei)(fei)硫酸利用能力。

　　“十四五”期(qi)間，上海(hai)的集成電路產量(liang)(liang)將快(kuai)速增(zeng)長，需處置的廢(fei)硫(liu)酸(suan)量(liang)(liang)也(ye)將隨之增(zeng)加。據最(zui)新統計，2020年(nian)產生(sheng)廢(fei)酸(suan)1.25萬噸(dun)，2021年(nian)預計為2.8萬噸(dun)，到(dao)2022年(nian)上海(hai)芯片(pian)企業產生(sheng)的廢(fei)硫(liu)酸(suan)將高達(da)6萬噸(dun)，2025年(nian)將達(da)到(dao)10萬噸(dun)以上。

　　面對這一形勢，上(shang)海(hai)各相關部門(men)召開會議制(zhi)定了“提前謀劃改造，形成需求匹配、長久穩定”的廢硫(liu)酸(suan)利(li)用原(yuan)則。上(shang)海(hai)市發改委、上(shang)海(hai)市經濟(ji)和(he)(he)信(xin)息化(hua)委還專門(men)組(zu)織專家(jia)隊伍到資源(yuan)化(hua)綜合利(li)用企業(ye)(ye)澎博(bo)公司開展(zhan)現場調研，了解情況(kuang)，聽(ting)取企業(ye)(ye)和(he)(he)行業(ye)(ye)專家(jia)的意見和(he)(he)建議。

　　作為廢酸再利用定(ding)點企業，澎(peng)博(bo)公司(si)(si)也啟動了匹(pi)配廢酸資源(yuan)化利用技改(gai)規(gui)劃(hua)(hua)，積極響應上級部門對(dui)澎(peng)博(bo)公司(si)(si)以廢定(ding)產、提前謀劃(hua)(hua)的要求，規(gui)劃(hua)(hua)“集成電路(lu)行(xing)業10萬噸廢酸資源(yuan)化利用”技改(gai)。

　　在(zai)上海市人民政府(fu)近日印發(fa)的(de)《上海市2021-2023年生態環境(jing)保護(hu)和(he)建設三年行動(dong)》文件上，記者也注意到相關(guan)條(tiao)文：在(zai)環境(jing)可控(kong)的(de)前提下，持續(xu)推(tui)動(dong)集成電(dian)路(lu)行業廢酸(suan)等危險廢物“點(dian)對(dui)點(dian)”定向資源化利用(yong)工作，形成穩定的(de)與集成電(dian)路(lu)行業未(wei)來發(fa)展相適(shi)應(ying)的(de)廢酸(suan)處置利用(yong)能力。

　　據(ju)悉，未來，這種廢棄硫(liu)酸“點(dian)對點(dian)”資(zi)源化(hua)定向再利用(yong)模式，將有力保障我國集成電(dian)路行業的發展(zhan)，也將對其他行業的危險廢物綜合利用(yong)起到借鑒和引領作用(yong)。

來源：中國(guo)環境報