中國環(huan)境(jing)(jing)報見習記者(zhe) 丁(ding)波 記者(zhe) 蔡新華 上海被賦(fu)予打造集成(cheng)電(dian)路產(chan)業高地的重大任務，隨著產(chan)業規(gui)模逐步擴大，廢酸環(huan)境(jing)(jing)無害(hai)化處置成(cheng)為突出問題。據了解(jie)(jie)，上海通(tong)過 “點對點”資源化定(ding)向再利用創(chuang)新模式已破解(jie)(jie)這一(yi)難(nan)題。

　　日前，一輛掛有危險標識的罐(guan)裝運輸車(che)(che)穩穩駛入廠區(qu)，公司(si)專職管理員引導車(che)(che)輛，過(guo)磅、取(qu)樣、檢驗、聯單簽(qian)收……一系列流程后，車(che)(che)被引導至專用卸車(che)(che)區(qu)，車(che)(che)上的特(te)殊液(ye)體被接收到公司(si)的原料(liao)(liao)儲料(liao)(liao)罐(guan)中，等待用于后續的生產。

　　這是記者在(zai)位于金山第(di)二工業區(qu)內(nei)的上海澎博鈦白(bai)粉有限公司(si)(以下簡(jian)稱(cheng)澎博公司(si))看到(dao)的場景。罐裝(zhuang)車內(nei)裝(zhuang)運的是液體(ti)硫酸，它的特殊性(xing)在(zai)于是上游集(ji)成電(dian)路芯片(pian)生產企業使用過的廢棄硫酸。

　　在(zai)現場(chang)，公司負責人何文龍告(gao)訴記者，公司是上(shang)海市(shi)集成電路芯片行(xing)業產生(sheng)(sheng)的(de)廢硫酸資源化(hua)利(li)(li)用定點單位，每天(tian)安(an)排專用車輛(liang)將廢酸運回工廠(chang)，經過嚴格(ge)的(de)檢驗流程后再投入到鈦白(bai)粉(fen)生(sheng)(sheng)產當中，今年1月-7月已(yi)處(chu)置利(li)(li)用廢酸1.5萬噸(dun)。

　　新模式解決行業發展難題

　　據上(shang)(shang)(shang)海市生(sheng)態環境(jing)局相關(guan)負責(ze)人介紹，上(shang)(shang)(shang)海首創的廢(fei)硫酸“點對點”資源化定向再利用模式運(yun)用逐步(bu)成(cheng)熟，目前(qian)已經全部覆蓋了上(shang)(shang)(shang)海具(ju)備回(hui)收(shou)廢(fei)酸條件的集成(cheng)電路芯(xin)片制造(zao)企(qi)業，總體上(shang)(shang)(shang)穩定地解決(jue)了上(shang)(shang)(shang)海集成(cheng)電路芯(xin)片制造(zao)企(qi)業廢(fei)硫酸處置問題。

　　據上海市(shi)集成(cheng)電路行(xing)業(ye)協(xie)會(hui)相關負責(ze)人介紹，集成(cheng)電路產(chan)業(ye)生產(chan)過程中(zhong)會(hui)使(shi)用大量濃硫(liu)酸(suan)，排放(fang)以硫(liu)酸(suan)物質為主，處理廢硫(liu)酸(suan)成(cheng)本很高，同時會(hui)存在一定的(de)生態環境安全(quan)風險。這個(ge)問題(ti)成(cheng)為阻礙行(xing)業(ye)發(fa)展的(de)難(nan)題(ti)。

　　直面(mian)痛點。在上(shang)海(hai)(hai)市(shi)(shi)經濟和(he)信息化(hua)委、上(shang)海(hai)(hai)市(shi)(shi)生態環境局(ju)等相關部(bu)門(men)的支(zhi)持下，上(shang)海(hai)(hai)市(shi)(shi)固體廢物和(he)化(hua)學品(pin)管理技(ji)術中(zhong)心、上(shang)海(hai)(hai)市(shi)(shi)集(ji)成電路行(xing)業協會(hui)積(ji)極探索，多(duo)次召開(kai)專家(jia)研討會(hui)論證處置方案，并于2016年開(kai)始由(you)中(zhong)芯國(guo)際(ji)和(he)澎博公司開(kai)展廢硫酸“點對點”資源化(hua)定向再利用試點運行(xing)，經過(guo)多(duo)輪(lun)試點驗證，最終形成較(jiao)為成熟的經驗。

　　去年，上(shang)海市集(ji)成(cheng)電路(lu)行業協會(hui)會(hui)同(tong)多部(bu)門(men)專門(men)編寫形成(cheng)了(le)《鈦白粉用集(ji)成(cheng)電路(lu)制造行業廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標準(zhun)，在上(shang)海市質量(liang)技術監督部(bu)門(men)網站和國家標準(zhun)網上(shang)進行公示(shi)，全力保障(zhang)廢酸源頭質量(liang)的(de)把控。

　　多維度再利用效益明顯

　　廢硫(liu)(liu)酸(suan)“點(dian)對點(dian)”資源(yuan)化(hua)定向再(zai)利用(yong)(yong)，這一新(xin)模(mo)式的(de)環境(jing)效(xiao)益(yi)、經(jing)濟效(xiao)益(yi)和社(she)會效(xiao)益(yi)都很(hen)顯(xian)著。相關專(zhuan)家告訴(su)記者(zhe)，模(mo)式的(de)核(he)心是實現集成電路制(zhi)造過程(cheng)中(zhong)產(chan)生(sheng)的(de)廢硫(liu)(liu)酸(suan)替代鈦白粉生(sheng)產(chan)工藝(yi)過程(cheng)中(zhong)用(yong)(yong)到的(de)工業硫(liu)(liu)酸(suan)。經(jing)過試點(dian)驗證，這種模(mo)式技術可行性很(hen)強，廢酸(suan)再(zai)利用(yong)(yong)單位在(zai)使用(yong)(yong)廢硫(liu)(liu)酸(suan)生(sheng)產(chan)鈦白粉時(shi)，不需要(yao)調整現有工藝(yi)。同(tong)時(shi)，替用(yong)(yong)過程(cheng)不增加額外的(de)環境(jing)負擔與風險(xian)，不影(ying)響產(chan)品的(de)質量，符(fu)合“固體(ti)廢物(wu)減量化(hua)、資源(yuan)化(hua)和無害化(hua)”原則。

　　談(tan)到(dao)經濟效(xiao)益，這位專家給記者算了一筆賬：澎博公(gong)(gong)司(si)再利(li)用廢硫酸(suan)每噸(dun)收費500元，按照上海(hai)市往年(nian)廢硫酸(suan)處(chu)置(zhi)費每噸(dun)2000元計算，今年(nian)1月至7月，澎博公(gong)(gong)司(si)累(lei)計利(li)用廢硫酸(suan)1.5萬(wan)噸(dun)，集成電路生(sheng)產企業(ye)可節約2250萬(wan)元。同(tong)時，澎博公(gong)(gong)司(si)也節省了購置(zhi)工(gong)業(ye)濃(nong)硫酸(suan)的費用，產廢企業(ye)和再利(li)用企業(ye)達到(dao)了“雙(shuang)贏”。

　　此外，新模式還符合(he)循環經(jing)濟產業需求，不(bu)僅解決了廢(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)處(chu)置(zhi)出路難、處(chu)置(zhi)費用(yong)高的(de)難題，降低了企業生產成本和(he)(he)廢(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)處(chu)理費用(yong)，還促進了鈦白粉生產單位(wei)的(de)升級改造(zao)、精準轉型和(he)(he)綠色發展，為日后集成電路產業的(de)蓬勃(bo)發展鋪(pu)平了道路。

　　深(shen)入推進“點對點”資源化(hua)再利用

　　“在(zai)探索推行這(zhe)一新模式(shi)的過(guo)程中(zhong)，我們以守好(hao)環境底線(xian)為(wei)前(qian)提，做到嚴格把關，按程序推進。”上(shang)海市(shi)生(sheng)態環境局相關負責人(ren)介紹，在(zai)前(qian)期(qi)提出設想并加以論證(zheng)的基礎上(shang)，他們于2016年(nian)發(fa)文，同(tong)意將中(zhong)芯國際和澎博公司設立為(wei)上(shang)海市(shi)首個廢硫酸定向再利用試(shi)點(dian)單位，利用芯片(pian)廢硫酸生(sheng)產鈦白粉。

　　2019年11月，上海市生(sheng)態(tai)環(huan)境(jing)局同(tong)意4家(jia)(jia)企(qi)(qi)業(ye)廢硫酸定向資源化再利用備案(an)。2020年10月，上海市生(sheng)態(tai)環(huan)境(jing)局擴大廢硫酸定向資源化再利用備案(an)，新增4家(jia)(jia)企(qi)(qi)業(ye)，全面覆(fu)蓋上海市具備回(hui)收(shou)廢酸條件的(de)集成電路制造企(qi)(qi)業(ye)。

　　據介紹(shao)，目前，各方進展順(shun)利(li)，各試點企(qi)業(ye)在嚴(yan)格執行(xing)危險廢(fei)物各項管(guan)理(li)制(zhi)度下(xia)，廢(fei)硫酸源頭品質得到保障，并委托具有(you)相關運輸資質的(de)單位專人專車進行(xing)運輸。澎(peng)(peng)博公司(si)在廢(fei)酸使用(yong)期(qi)間，生(sheng)產(chan)運行(xing)穩定，各項污染物排(pai)放環保指標檢(jian)測均符合(he)排(pai)放標準。同時，澎(peng)(peng)博公司(si)對生(sheng)產(chan)設(she)備工藝進行(xing)優化改造，在末端形成了可(ke)滿足近期(qi)集成電路產(chan)業(ye)發展需求的(de)每年6萬噸(dun)廢(fei)硫酸利(li)用(yong)能(neng)力。

　　“十四五”期間，上海(hai)的(de)集(ji)成電路產量(liang)將(jiang)快速增長(chang)，需處置的(de)廢硫酸量(liang)也將(jiang)隨之增加。據(ju)最新統計(ji)，2020年(nian)產生廢酸1.25萬噸(dun)，2021年(nian)預(yu)計(ji)為2.8萬噸(dun)，到(dao)2022年(nian)上海(hai)芯片企業產生的(de)廢硫酸將(jiang)高達(da)6萬噸(dun)，2025年(nian)將(jiang)達(da)到(dao)10萬噸(dun)以(yi)上。

　　面對這一(yi)形(xing)勢，上(shang)(shang)海各相(xiang)關(guan)部(bu)門召開會(hui)議制定了(le)“提前謀劃改造，形(xing)成需(xu)求匹配(pei)、長久穩定”的廢硫(liu)酸利(li)用原則。上(shang)(shang)海市發改委、上(shang)(shang)海市經濟和(he)信息化(hua)委還專(zhuan)(zhuan)門組織專(zhuan)(zhuan)家隊(dui)伍到資源(yuan)化(hua)綜合利(li)用企業澎博公司開展現(xian)場調研，了(le)解情況，聽取企業和(he)行業專(zhuan)(zhuan)家的意(yi)見和(he)建議。

　　作(zuo)為廢(fei)(fei)酸再利(li)(li)用定(ding)點企業，澎(peng)博公(gong)司(si)也啟動(dong)了匹配廢(fei)(fei)酸資(zi)(zi)源化(hua)利(li)(li)用技(ji)改(gai)規劃(hua)，積極響應上(shang)級部門對澎(peng)博公(gong)司(si)以(yi)廢(fei)(fei)定(ding)產(chan)、提前謀劃(hua)的要(yao)求，規劃(hua)“集成電(dian)路(lu)行(xing)業10萬噸廢(fei)(fei)酸資(zi)(zi)源化(hua)利(li)(li)用”技(ji)改(gai)。

　　在上海市人民政(zheng)府近日印發的(de)(de)《上海市2021-2023年(nian)生(sheng)態環境(jing)(jing)保護和建設三年(nian)行動(dong)》文件上，記(ji)者也注意到(dao)相(xiang)關條文：在環境(jing)(jing)可(ke)控的(de)(de)前提下(xia)，持續推(tui)動(dong)集成(cheng)電(dian)路(lu)行業廢酸(suan)(suan)等危險(xian)廢物“點對點”定(ding)向資源(yuan)化利用(yong)(yong)工(gong)作，形成(cheng)穩(wen)定(ding)的(de)(de)與集成(cheng)電(dian)路(lu)行業未來發展相(xiang)適應的(de)(de)廢酸(suan)(suan)處置(zhi)利用(yong)(yong)能(neng)力。

　　據悉，未(wei)來，這(zhe)種(zhong)廢棄(qi)硫酸“點對點”資源化定(ding)向再利(li)用模式(shi)，將有力(li)保障我國集(ji)成(cheng)電路行(xing)業(ye)的(de)發展，也(ye)將對其他行(xing)業(ye)的(de)危險(xian)廢物(wu)綜合利(li)用起(qi)到借(jie)鑒和(he)引領(ling)作用。

來(lai)源：中國環境報