中國環(huan)境報見習記者 丁波 記者 蔡新華 上海被賦予打造集成電路(lu)產業高(gao)地的重大任(ren)務，隨著產業規模逐(zhu)步擴大，廢酸環(huan)境無(wu)害化(hua)處(chu)置(zhi)成為突出問題(ti)。據了解(jie)，上海通過 “點對點”資源化(hua)定向再利用創新模式已破(po)解(jie)這一難題(ti)。

　　日前，一輛(liang)掛有危險標識的(de)罐(guan)(guan)裝(zhuang)運輸車(che)穩穩駛入廠(chang)區，公(gong)司專(zhuan)職管理員(yuan)引導車(che)輛(liang)，過(guo)磅、取樣、檢(jian)驗、聯單(dan)簽收(shou)……一系列流程后，車(che)被(bei)引導至(zhi)專(zhuan)用卸車(che)區，車(che)上的(de)特殊液體被(bei)接收(shou)到公(gong)司的(de)原料儲料罐(guan)(guan)中(zhong)，等(deng)待用于(yu)后續的(de)生產。

　　這(zhe)是記者在位于金山第二工業區內的(de)上海澎博(bo)鈦白粉有限公(gong)司(以下簡稱(cheng)澎博(bo)公(gong)司)看(kan)到的(de)場景。罐裝車內裝運的(de)是液(ye)體硫酸，它(ta)的(de)特(te)殊性在于是上游集(ji)成電路芯(xin)片生產企業使用過的(de)廢棄硫酸。

　　在(zai)現場，公司負責人何文龍告(gao)訴(su)記者，公司是上海市集成電路芯片行(xing)業(ye)產(chan)生的(de)廢硫酸資源化利(li)用(yong)定點單位，每(mei)天安排專用(yong)車輛將廢酸運回(hui)工廠(chang)，經過嚴格的(de)檢驗(yan)流(liu)程后再投入到鈦白(bai)粉生產(chan)當中，今年1月-7月已處置(zhi)利(li)用(yong)廢酸1.5萬噸。

　　新模式(shi)解決行(xing)業發展(zhan)難題

　　據上(shang)海(hai)(hai)市(shi)生態環境局相關負責人(ren)介紹(shao)，上(shang)海(hai)(hai)首創的(de)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)“點對點”資源(yuan)化定向再(zai)利(li)用(yong)模式運(yun)用(yong)逐步成(cheng)熟，目前已(yi)經全部覆蓋了上(shang)海(hai)(hai)具備(bei)回(hui)收廢(fei)酸(suan)(suan)條件的(de)集成(cheng)電路芯片(pian)(pian)制造(zao)企(qi)業，總體上(shang)穩定地(di)解決了上(shang)海(hai)(hai)集成(cheng)電路芯片(pian)(pian)制造(zao)企(qi)業廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)處置問(wen)題。

　　據上海市集(ji)成電(dian)路(lu)行(xing)(xing)業協會(hui)相關(guan)負責人介(jie)紹，集(ji)成電(dian)路(lu)產業生產過程中會(hui)使用(yong)大量濃硫(liu)酸，排放以硫(liu)酸物質為主，處理廢硫(liu)酸成本很(hen)高，同時會(hui)存(cun)在(zai)一定的生態(tai)環境安全風(feng)險。這個問題成為阻礙行(xing)(xing)業發展的難題。

　　直(zhi)面痛點。在上海市(shi)經濟和信息化委、上海市(shi)生態環境(jing)局等相關部門(men)的支持下(xia)，上海市(shi)固體(ti)廢物和化學品管理技術中(zhong)心(xin)、上海市(shi)集(ji)成電(dian)路行業(ye)協會積極探索，多(duo)次召開專家研討會論(lun)證處置方案(an)，并于(yu)2016年開始由中(zhong)芯(xin)國際(ji)和澎博公(gong)司(si)開展廢硫酸“點對點”資源化定(ding)向再利用試(shi)點運行，經過多(duo)輪試(shi)點驗證，最(zui)終形成較為成熟的經驗。

　　去年，上海(hai)市(shi)集成電(dian)路(lu)行業協會(hui)(hui)會(hui)(hui)同(tong)多部(bu)門(men)(men)專門(men)(men)編寫(xie)形成了《鈦白粉用集成電(dian)路(lu)制(zhi)造行業廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體(ti)標準(zhun)，在上海(hai)市(shi)質(zhi)量(liang)(liang)技術監督部(bu)門(men)(men)網站和國家標準(zhun)網上進行公示，全力(li)保障廢酸源(yuan)頭質(zhi)量(liang)(liang)的(de)把控(kong)。

　　多維度再利用效益明顯(xian)

　　廢(fei)(fei)(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)“點對點”資(zi)源化定向再(zai)利(li)(li)用(yong)，這一新模式的(de)(de)環(huan)境效(xiao)益、經濟效(xiao)益和社會效(xiao)益都很顯著(zhu)。相關專(zhuan)家告訴記者，模式的(de)(de)核心是實現(xian)集成電路制造過程中(zhong)產生的(de)(de)廢(fei)(fei)(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)替(ti)代鈦白粉(fen)(fen)生產工藝過程中(zhong)用(yong)到的(de)(de)工業硫(liu)酸(suan)。經過試點驗(yan)證(zheng)，這種模式技(ji)術可行性很強，廢(fei)(fei)(fei)(fei)酸(suan)再(zai)利(li)(li)用(yong)單位在使用(yong)廢(fei)(fei)(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)生產鈦白粉(fen)(fen)時，不(bu)需要(yao)調整現(xian)有工藝。同(tong)時，替(ti)用(yong)過程不(bu)增加額外(wai)的(de)(de)環(huan)境負擔與風險(xian)，不(bu)影響產品的(de)(de)質量，符(fu)合“固體廢(fei)(fei)(fei)(fei)物減量化、資(zi)源化和無害化”原則。

　　談到經濟效益，這位專家(jia)給(gei)記者算了(le)一筆(bi)賬：澎博公(gong)司(si)再利用廢硫(liu)酸每噸收費(fei)500元，按照上海(hai)市往年(nian)廢硫(liu)酸處置(zhi)費(fei)每噸2000元計(ji)算，今年(nian)1月至7月，澎博公(gong)司(si)累計(ji)利用廢硫(liu)酸1.5萬(wan)噸，集成電路(lu)生(sheng)產企業(ye)可節(jie)約2250萬(wan)元。同(tong)時，澎博公(gong)司(si)也(ye)節(jie)省(sheng)了(le)購置(zhi)工業(ye)濃(nong)硫(liu)酸的費(fei)用，產廢企業(ye)和再利用企業(ye)達到了(le)“雙贏(ying)”。

　　此外，新模式還(huan)符合循環(huan)經(jing)濟產(chan)業(ye)需(xu)求(qiu)，不僅(jin)解決了(le)廢(fei)硫(liu)酸處(chu)(chu)置出路難(nan)、處(chu)(chu)置費用(yong)高的難(nan)題(ti)，降低了(le)企業(ye)生產(chan)成本和(he)廢(fei)硫(liu)酸處(chu)(chu)理費用(yong)，還(huan)促進了(le)鈦白粉生產(chan)單位的升級改造(zao)、精(jing)準轉型和(he)綠(lv)色發(fa)(fa)展，為日后(hou)集(ji)成電路產(chan)業(ye)的蓬勃發(fa)(fa)展鋪平了(le)道路。

　　深入(ru)推進“點(dian)對點(dian)”資源化再(zai)利用

　　“在探索推行這(zhe)一(yi)新模(mo)式的(de)過程中，我們(men)以守好環(huan)境底線為前提(ti)，做到嚴格把關，按程序(xu)推進。”上(shang)海市生態環(huan)境局(ju)相(xiang)關負責人介紹，在前期提(ti)出設想(xiang)并加以論證的(de)基(ji)礎上(shang)，他們(men)于2016年發文，同意將中芯(xin)國際和澎博公司(si)設立為上(shang)海市首個廢(fei)硫(liu)酸(suan)定向再利(li)用試點單位，利(li)用芯(xin)片(pian)廢(fei)硫(liu)酸(suan)生產鈦白(bai)粉。

　　2019年11月，上(shang)海(hai)(hai)市生(sheng)態環境(jing)(jing)局同意4家企業廢(fei)(fei)硫酸定向資(zi)源化(hua)(hua)再利用(yong)備案(an)。2020年10月，上(shang)海(hai)(hai)市生(sheng)態環境(jing)(jing)局擴大廢(fei)(fei)硫酸定向資(zi)源化(hua)(hua)再利用(yong)備案(an)，新增(zeng)4家企業，全面(mian)覆(fu)蓋上(shang)海(hai)(hai)市具備回收廢(fei)(fei)酸條(tiao)件的(de)集成(cheng)電路制造企業。

　　據介紹，目前，各(ge)方進(jin)展順利，各(ge)試點企業在嚴格(ge)執行(xing)(xing)危險廢物各(ge)項管理制(zhi)度下(xia)，廢硫酸(suan)(suan)源頭品質得到保障，并委托(tuo)具有(you)相關運輸資質的單(dan)位專人專車進(jin)行(xing)(xing)運輸。澎博公(gong)司(si)在廢酸(suan)(suan)使(shi)用期(qi)間，生(sheng)產(chan)運行(xing)(xing)穩定，各(ge)項污染物排放(fang)環(huan)保指(zhi)標檢測均符合排放(fang)標準。同時(shi)，澎博公(gong)司(si)對生(sheng)產(chan)設備工(gong)藝進(jin)行(xing)(xing)優化(hua)改造，在末(mo)端形成(cheng)了可滿(man)足近期(qi)集(ji)成(cheng)電路產(chan)業發展需求的每年(nian)6萬噸廢硫酸(suan)(suan)利用能力。

　　“十(shi)四五(wu)”期間(jian)，上(shang)海(hai)的(de)集成電路產量將快(kuai)速(su)增(zeng)長，需(xu)處置(zhi)的(de)廢硫酸量也將隨之增(zeng)加。據最(zui)新統(tong)計，2020年(nian)(nian)產生廢酸1.25萬(wan)噸(dun)(dun)，2021年(nian)(nian)預計為2.8萬(wan)噸(dun)(dun)，到2022年(nian)(nian)上(shang)海(hai)芯(xin)片企業(ye)產生的(de)廢硫酸將高達6萬(wan)噸(dun)(dun)，2025年(nian)(nian)將達到10萬(wan)噸(dun)(dun)以上(shang)。

　　面對(dui)這(zhe)一形(xing)勢，上海(hai)各相關部(bu)門召開(kai)會議制(zhi)定(ding)了(le)“提前謀劃改(gai)造，形(xing)成需求(qiu)匹配、長久穩定(ding)”的廢硫酸利用(yong)原則。上海(hai)市(shi)發改(gai)委、上海(hai)市(shi)經濟和(he)信息(xi)化委還專門組織專家(jia)隊(dui)伍到(dao)資源化綜合利用(yong)企(qi)業澎博公司開(kai)展現場調研，了(le)解情況(kuang)，聽取企(qi)業和(he)行業專家(jia)的意見(jian)和(he)建議。

　　作為廢(fei)(fei)酸(suan)再利(li)(li)用(yong)定(ding)點企業，澎博公司(si)也(ye)啟動了匹配(pei)廢(fei)(fei)酸(suan)資源(yuan)化(hua)利(li)(li)用(yong)技改(gai)規劃，積極響應上(shang)級部門對澎博公司(si)以(yi)廢(fei)(fei)定(ding)產(chan)、提前謀劃的要求(qiu)，規劃“集成電(dian)路行業10萬(wan)噸廢(fei)(fei)酸(suan)資源(yuan)化(hua)利(li)(li)用(yong)”技改(gai)。

　　在上海市(shi)人民政府(fu)近(jin)日印發的(de)(de)《上海市(shi)2021-2023年生態環境(jing)保(bao)護和建設三年行動》文件上，記者(zhe)也注意到相(xiang)關條文：在環境(jing)可控的(de)(de)前(qian)提下，持續(xu)推動集成(cheng)電路行業(ye)(ye)廢(fei)酸(suan)等危險廢(fei)物“點對點”定(ding)向(xiang)資源化利(li)用工作，形(xing)成(cheng)穩定(ding)的(de)(de)與集成(cheng)電路行業(ye)(ye)未來發展(zhan)相(xiang)適(shi)應的(de)(de)廢(fei)酸(suan)處(chu)置利(li)用能力。

　　據悉，未(wei)來，這種廢棄硫酸“點對點”資(zi)源化定向再利用(yong)模式，將(jiang)有力保障(zhang)我(wo)國集(ji)成電(dian)路行(xing)業的(de)發展，也將(jiang)對其他(ta)行(xing)業的(de)危險(xian)廢物綜合(he)利用(yong)起到借鑒和(he)引領作用(yong)。

來源(yuan)：中國環境報